SR-D 0.1um高精度塵埃粒子計數器

1 產品概述

SR-D01 型激光塵埃粒子計數器（0.1μm）用于測量潔凈環境中單位體積空氣內的塵埃粒子大小及數目，最小粒徑檔可達 0.1μm，可直接檢測潔凈度等級至十級為三十萬級的潔凈環境。本產品可廣泛應用于電子、光學、化學、食品、化妝品、醫藥衛生、生物制品、航空航天等部門。

本產品可以配套高壓擴散器測試工藝壓縮空氣的潔凈度評價。

2 指標參數

配套高壓擴散器做壓縮空氣的潔凈度測試

超凈間環境潔凈度測試

SR-D01與美國TSI0.1um塵埃粒子計數器對比曲線圖

在半導體光刻、生物醫藥無菌灌裝、精密光學鍍膜等制造領域，一顆0.1微米的隱形顆粒，就可能引發產品良率崩塌、批次報廢甚至安全事故。過去，能精準捕捉0.1微米粒子的設備幾乎被進口品牌壟斷，高昂的價格、繁瑣的維護讓許多企業望而卻步。如今，廣東鑠瑞科技有限公司憑借深厚技術積累，推出SR-D01型激光塵埃粒子計數器，以0.1μm真實檢測下限 + 28.3L/min大流量采樣 + 全粒徑檔位覆蓋，讓高精度潔凈檢測變得觸手可及。

突破極限，從0.1微米開始掌控潔凈度

SR-D01最小粒徑檔位低至0.1μm，相比常規0.3μm起測的儀器，它能發現更隱蔽的超微污染源。無論是光刻膠顆粒、細菌載體，還是工藝氣體中的微量雜質，都無處遁形。更關鍵的是，它提供六個粒徑檔位（0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm），既能看清納米級的“敵人"，又能兼顧常規ISO等級判定，一機滿足從十級到三十萬級潔凈環境的全范圍檢測需求。

28.3L大流量，測得更快、更準、更具代表性

流量是粒子計數器的核心參數。SR-D01采用28.3L/min（1CFM）大流量氣路設計，相比2.83L/min的小流量設備，采樣效率提升10倍——在相同時間內捕獲更多粒子，顯著降低統計誤差，尤其適用于等級較高、粒子濃度極低的十級或百級潔凈室。同時，大流量能更快完成單點采樣，提升巡檢效率，降低生產線的等待時間。

不止于潔凈室：工藝壓縮空氣也能輕松應對

很多潔凈事故的元兇不是室內環境，而是管道內攜帶油水、塵埃的壓縮空氣。SR-D01可配套高壓擴散器，直接對壓縮空氣管路進行等動力采樣，精準評價工藝用氣的潔凈度等級，為氣動設備、吹掃工序加上一道“保險"。從電子廠的光刻氣路到藥廠的灌裝用氣，SR-D01都能提供可靠數據支撐。

數據說話：與進口對標，計量院認證

進口0.1μm粒子計數器往往價格數倍于國產設備。鑠瑞科技敢于亮出硬實力——SR-D01與美國TSI 0.1μm塵埃粒子計數器進行平行對比測試（見下方趨勢圖），兩者在不同粒徑檔位的計數結果高度吻合，曲線幾乎重疊。這意味著，SR-D01已具備與國際同臺競技的能力。此外，產品送檢中國計量科學研究院，獲得校準報告，每一臺出廠設備均可溯源至國家基準，無懼各類GMP、ISO14644、GB/T 16292等法規審核。

工業級設計，穩定可靠

• 304不銹鋼外殼，抗腐蝕、易清潔，滿足制藥、食品等行業的潔凈室材質要求。

• 自凈時間≤10分鐘，快速恢復待測狀態，避免交叉污染。

• 超大存儲（≥10000組數據） + RS232通訊，便于數據追溯與系統集成。

• 可調測量周期（1s~1000s），靈活適應不同濃度場景。

• 鋰電池續航約3小時，兼顧便攜性與持續作業需求。

應用場景全覆蓋

• 半導體與面板：光刻區、刻蝕區、黃光區的0.1μm級控塵

• 生物制藥：GMP無菌灌裝線、隔離器、凍干機進出口檢漏

• 精密光學/航天：鍍膜前基片潔凈度驗證

• 食品/化妝品：灌裝車間、包裝車間潔凈度日常監測

• 醫院/疾控：潔凈手術室、ICU、實驗室空氣質量控制

SR-D01送檢中國計量科學研究院報告